重生之信息帝国_最新章节第二五三章 PECVD设备

    当然，PECVD设备的售价也要比其他两种CVD设备的售价稍微高上那么一点儿。其他两种CVD设备的售价均为1000万美元一套，而一台PECVD设备的售价是1100万美元！

    相比于PECVD设备，另外两种CVD设备无疑要简单了一些，因此只要能够制造出合格的PECVD设备来，那么另外两种设备自然是手到擒来的事情。所以，李想和宏达电子机修部的主任刘志这次来到一机床，拿的就是PECVD设备的图纸。

    一台PECVD设备的个头是相当大的，也是所有三种设备中个头最大的。李想拿出来的这套设计图纸，如果一机床能够造出来的话，那么这个大家伙将会拥有7.8米的宽度，10.8米的长度以及3.2米的高度，而它的总重量也会达到恐怖的53吨！

    这个尺寸说起来有些模糊，换算成一下实际的，那就是大家伙儿应该都见过平房吧，就是那种宽3.5米，长大概在5.5米左右的平房，差不多四间这么大的平房才能够摆下这么一个大家伙！

    没有办法啊，因为所有的镀膜工作都会在这个大家伙的内部发生的，而且镀膜的时候对于无尘环境的要求极高，因此这个大家伙有很大一部分都属于高洁净度的洁净室甚至是真空环境。再加上工作腔在进行反应的时候，会产生极大的热量，因此光是冷却部分，也要占据极大的空间。

    这个大家伙主要有五个工作室组成的，这五个工作室中有两个是工艺室，是专门用于给玻璃基板进行镀膜反应的反应腔，还有一个是装载腔，是用来装载玻璃基板的；一个传送腔，是用来把装载腔的玻璃基板传送到工艺室中进行镀膜反应的；最后一个就是卸载腔，功能就是将反应完成的玻璃基板卸载出设备的。

    装载腔里面有二十个格子，里面可以一次性盛放二十片基板，整个装载腔是真空环境，一个真空泵和一个大气罗茨泵在基板放好了，舱门关闭之后，可以将整个装载腔内的空气抽出。在装载腔的外部有和腔室底部的波纹管相通的氮气管道，是用来控制腔室内基板放置的高度的；还有排气管道，是用来恢复大气状态的，另外还有皮拉尼真空计和B－A真空计。

    传送腔，里面的主要部件就是一个真空机械手，在外面还有两个大气机械手，这种机械手其实很简单，由支架、碳素钢叉和导轨组成的。支架上面有十层碳素钢叉，为了保证基板的平稳，每层的碳素钢叉有四根，这样一个支架上面就是足足四十根碳素钢叉。之所以采用了碳素钢，就是为了增加支架的刚度，减少基板和叉子的下垂度，毕竟一片玻璃基板的重量也是很大的。

    至于最重要的工艺室，里面的设计就更复杂了。一个工艺腔是由十个反应室和十个冷却箱组成的，各自之间通过铰链相互连接，具体的布局就是一层冷却箱一层反应室然后再一层冷却箱，这样可以保证充分的冷却。反应室的门是由弹簧和铝金属板构成的，通过弹簧将铝金属板压在腔上，保持关闭状态，以减少工艺腔的泄漏率。

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